产品简介
采用进口天然石英砂,通过等离子工艺,提供高纯度、低气泡率、低OH含量的半导体用石英材料
应用领域
可用于半导体制程中高温与低温区的石英零部件,如石英法兰,石英环等
产品优势
OH<30ppm,具有极高的热稳定性。纯度高、气泡率低,在等离子体刻蚀、高温氧化等过程中避免Particle产生,提高半导体制程整体良率,厚壁筒形状能够节省加工时间和成本,提高石英环加工的得料率,
采用进口天然石英砂,通过等离子工艺,提供高纯度、低气泡率、低OH含量的半导体用石英材料
可用于半导体制程中高温与低温区的石英零部件,如石英法兰,石英环等
OH<30ppm,具有极高的热稳定性。纯度高、气泡率低,在等离子体刻蚀、高温氧化等过程中避免Particle产生,提高半导体制程整体良率,厚壁筒形状能够节省加工时间和成本,提高石英环加工的得料率,
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