产品中心

PRODUCT CENTER

Quartz thick walled cylinder

产品简介

采用进口天然石英砂,通过等离子工艺,提供高纯度、低气泡率、低OH含量的半导体用石英材料

应用领域

可用于半导体制程中高温与低温区的石英零部件,如石英法兰,石英环等

产品优势

OH<30ppm,具有极高的热稳定性。纯度高、气泡率低,在等离子体刻蚀、高温氧化等过程中避免Particle产生,提高半导体制程整体良率,厚壁筒形状能够节省加工时间和成本,提高石英环加工的得料率,