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有极低的热膨胀系数，优秀的机械性能，可应用于干涉仪参考镜、航空航天用反射镜、EUV光刻镜头、光刻载台。入射光经过零膨胀石英石英时，不会引入任何机械或光学失真，能用于严苛环境的光学设计或者高精密光刻系统。