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YW系列石英晶圆

产品简介

具有高透过率、极低金属杂质含量和高加工精度的石英晶圆,能够严格控制材料的表面疵病和缺陷。

应用领域

TGV、DOE、PLC、AWG等

产品优势

极低杂质含量、低羟基、无气泡、高折射率一致性、高表面光洁度

规格参数

产品参数


石英类型

YW-1804

YW-1806

YW-1808

YW-1812

尺寸

直径(inch)

4

6

8

12

厚度(mm)

0.05~2

0.25~5

0.3~5

0.4~5

公差直径(mm)±0.1±0.1±0.1±0.1
厚度(mm)
可定制可定制可定制可定制
折射率@365nm1.4746981.4746981.4746981.474698
折射率@546.1nm1.4602431.4602431.4602431.460243

光学性能

折射率@1014nm

1.450423

1.450423

1.450423

1.450423

内部透过率(1250~1650nm)>99.9%>99.9%>99.9%>99.9%

透过率(1250~1650nm)

>92%

>92%

>92%

>92%

加工质量*

TTV(um)

<1

<3

<3

<3

Flatness(um)

≤15

≤15

≤15

≤15

Roughness(nm)

≤1

≤1

≤1

≤1

Bow(um)

<5

<5

<5

<5

物理性能

密度(g/cm3)

2.202.202.202.20
莫氏硬度7777
杨氏模量(GPa)74.2074.2074.2074.20
剪切模量(GPa)31.2231.2231.2231.22
泊松比0.170.170.170.17
抗压强度(GPa)1.131.131.131.13
抗拉强度(MPa)49494949
弯曲强度(MPa)94.394.394.394.3

热性能

应变点(η=1014.5dPa·s) 

1070℃

1070℃

1070℃

1070℃

退火点(η=1013dPa·s)

1160℃

1160℃

1160℃

1160℃

软化点(η=107.6dPa·s)

1620℃

1620℃

1620℃

1620℃

 如有其他规格需求,请联系销售


金属杂质含量(单位:ppm)


金属杂质含量LiNaKMgCaCuAlCrFeTiOH
YW系列晶圆≤0.001 ≤0.005≤0.005≤0.005≤0.005≤0.001 ≤0.005≤0.001≤0.001≤0.008<250