设备名称
激光干涉仪
检测项目
光学均匀性、面形
检测范围
检测口径：≤ Ø600mm
检测精度
Transmission Flat PVr.≤ λ/25（λ=623.8nm）
Reference Flat PVr.≤ λ/25
光学均匀性检测精度≤ 0.5ppm
Testing Center
激光干涉仪
光学均匀性、面形
检测口径：≤ Ø600mm
Transmission Flat PVr.≤ λ/25（λ=623.8nm）
Reference Flat PVr.≤ λ/25
光学均匀性检测精度≤ 0.5ppm