基于多年来对光纤预制棒合成石英、热处理等工艺的深入研发与制备能力， 以及全面的光学检测平台，长飞石英公司YS系列高品质合成石英玻璃，能够满足尖端光学应用需求。
长飞石英公司拥有高纯合成石英、天然电熔石英锭、电熔石英筒等多种石英玻璃制备工艺，满足半导体市场各类应用。
长飞石英公司基于自主CVD合成工艺，结合多种纯化及掺杂技术，制备高品质合成石英管、石英棒、石英筒等产品。
超低羟基(OH<1ppm) 纯硅合成石英管
高羟基(OH~200ppm) 纯硅合成石英管，提高深紫外波段应用寿命
掺氟合成石英管，可定制折射率
超低羟基(OH<1ppm) 纯硅合成石英棒
高羟基(OH~400ppm、OH~700ppm) 纯硅合成石英棒
掺氟合成石英棒，可定制折射率
羟基<1ppm，金属杂质含量<20ppb，尺寸、光均、应力双折射可定制
羟基<1ppm，金属杂质含量<20ppb，光均NS，应力双折射<5nm/cm
金属杂质含量<50ppb
羟基<250ppm，金属杂质含量<50ppb，尺寸、光均、应力双折射可定制
羟基<250ppm，金属杂质含量<50ppb，光均NS,应力双折射<5nm/cm
羟基<250ppm，金属杂质含量<100ppb
高纯度合成石英玻璃，具有低的羟基含量(OH<250ppm)，具有3D无条纹、高光学均匀性、低应力双折射等光学特性。
羟基含量~800ppm，金属杂质含量<500ppb
具有极低的热膨胀系数，优秀的机械性能
定制化3D光均、应力，极高的紫外透过率和抗紫外辐照能力
采用进口天然石英砂，通过电熔工艺，提供高纯度、低气泡率、低OH含量的半导体用石英材料
采用进口天然石英砂，通过等离子工艺，提供高纯度、低气泡率、低OH含量的半导体用石英材料
具有高透过率、极低金属杂质含量和高加工精度
基于高纯合成石英材料，YSM系列掩模版具有极高透过率、极低的杂质含量和高表面质量。
不透明石英具有极好的保温性能，可应用于半导体、光伏等领域具有隔热作用的部件。
有极低的热膨胀系数，优秀的机械性能，可应用于干涉仪参考镜、航空航天用反射镜、EUV光刻镜头、光刻载台。
Copyright © 2024 长飞石英技术（武汉）有限公司版权所有 ICP备案号：鄂ICP备2024032722号-1
