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高几何尺寸精度、极低杂质元素含量

高透过率、高几何尺寸精度，具有耐紫外辐照能力

高透过率、高几何尺寸精度，精确掺氟工艺

极低金属杂质元素含量、高几何尺寸精度

几何结构可显著降低材料和加工成本、金属杂质元素含量<50ppb、Oh含量<250ppm、气泡率低

超低金属杂质。可达6N5以上纯度、可定制化1-500um粒径区间