石英材料凭借极高的耐腐蚀性、热稳定性和高纯度被广泛应用于半导体刻蚀、沉积、氧化部件。
高纯合成石英材料在深紫外区域具有极高的透过率,并且可以通过特殊的处理工艺,提高紫外耐辐照能力,提高相应石英光学元件的使用寿命,因此在半导体光学领域具有广泛的应用。
为了确保半导体制造过程中各个阶段的精确度和质量控制,半导体量测设备需要具有极高的光学检测能力和精度要求。
基于高纯合成石英材料,YSM系列掩模版具有极高透过率和极低的杂质或气泡。
石英晶圆可用于半导体先进封装载体,基于高纯合成石英材料,长飞石英提供具有极高透过率和极低的杂质或气泡的石英晶圆材料。